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离子溅射镀膜仪

溅射镀膜、蒸发镀膜。
型号：Quorum Q150RES plus

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技术参数：

1.工作尺寸150mm（直径）x 127mm（高）
2.样品台尺寸:φ60 mm
3.溅射工作真空范围：7 x 10-3 到1 x 10-1mbar
4.溅射电流：1-80mA，连续可调
5.溅射时间：1-3600秒
6.溅射靶材：Au/Pt/C
7.蒸发电流：1~70A
8.蒸发模式：脉冲式蒸发