MEMS/传感器

半导体技术在微电子机械系统（MEMS）传感器领域扮演着至关重要的角色，它使得这些极小型化的设备能够将机械加工工艺与微电子技术相结合，实现对外界物理量的精确测量和控制。MEMS传感器利用半导体材料，如硅，通过微加工技术制造出微小的机械结构和电子电路，这些结构可以是悬臂、梁、膜、齿轮等，它们在受到力、热、光、磁、化学等物理量作用时会产生形变或位移。这些微小的机械结构与半导体芯片上的电子器件紧密集成，通过电子信号的转换，可以将机械位移转换为可测量的电信号，从而实现对加速度、压力、温度、湿度、磁场等物理量的精确检测。MEMS传感器因其体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高以及易于集成等优点，在消费电子、汽车、医疗、工业控制等多个领域得到了广泛应用。