半导体、金属、陶瓷材料、截面加工及透射样品制备。 型号：FEI Helios G4 CX
技术参数：
1.电子束电流范围：1pA-400nA； 2.电子束电压：200eV-30keV，具有减速模式； 3.电子束分辨率：0.7nm（30keV）、1.4nm（1keV）； 4.大束流Sidewinder离子镜筒； 5.离子束加速电压500V-30kV(分辨率：3.0nm)； 6.离子束束流：1.5pA-65nA，15孔光阑。
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