服务项目

自动显微镜

高倍率、大尺寸晶圆或芯片测量、拍摄。
型号：Zeiss Imager A2 Vario

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技术参数：

1.平台承载：6寸和8寸，可旋转夹具；
2.目镜：10X；
3.物镜：5X、10X、20X、50X、100X、150X；
4.Zen Core 3.0自动测量、拼图软件。
5.拥有自动聚焦系统且满足超净室等级要求;
6.具有硬件自动对焦功能;
7.明场和暗场；
8.多种材料、产品观察；