技术参数：
1.适用于多种晶圆量测应用；
2.模块量测：DC-IV/DC-CV/Pulse-IV；
3.射频和毫米波：26GHz至110GHz及以上；
4.失效分析探针卡/节间探测；
5.可靠性测试：热/冷/长时间测试；
6.高功率测试：至高10kV/600 A；
7.支援飞安级低漏电值量测；
8.工作台温度范围：-40~200℃。
9.专为EMI/RFI/Light-Tight屏蔽所设计的精密量测环境；
10.便利的晶圆单片上片，搭配简单快速的晶圆预对准功能，实现自动化流程简单化;
11.内建防震系统。
